根據(jù)工作原理,真空泵基本上可以分為兩種,即輸氣泵和集氣泵。隨著生產(chǎn)和科研領(lǐng)域?qū)φ婵諔?yīng)用技術(shù)的應(yīng)用壓力范圍的要求越來(lái)越高,大多數(shù)由幾個(gè)真空泵組成的真空泵系統(tǒng)在一起抽真空后可以滿(mǎn)足生產(chǎn)和科研過(guò)程的要求。因此,選擇由不同類(lèi)型的真空泵組成的真空泵機(jī)組進(jìn)行抽吸更為常見(jiàn)。因此,這些真空泵根據(jù)其工作原理或結(jié)構(gòu)特征分類(lèi)如下:
一、輸氣泵。
輸氣泵是一種真空泵,它可以連續(xù)地吸入和排出氣體,從而達(dá)到抽氣的目的。基本上有兩種類(lèi)型的泵:

1.可變?nèi)莘e真空泵。
變?nèi)菡婵毡檬且环N利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成抽吸和排氣過(guò)程的真空泵。氣體在排放前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式:
(1)活塞式真空泵:泵腔內(nèi)的活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng),吸入、壓縮和排出氣體。所以也叫活塞式真空泵。
⑵旋轉(zhuǎn)真空泵:泵腔內(nèi)的活塞用于旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),吸入、壓縮和排出氣體。旋轉(zhuǎn)式真空泵有以下幾種類(lèi)型:
①油封真空泵:是利用油密封運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙,減少有害空間的旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常裝有氣體鎮(zhèn)流裝置,因此也稱(chēng)為氣體鎮(zhèn)流真空泵。根據(jù)其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),可分為以下五種類(lèi)型。
a)旋片真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距安裝在泵殼內(nèi),并靠近泵殼內(nèi)表面的固定面。兩個(gè)(或多個(gè))旋轉(zhuǎn)葉片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),旋轉(zhuǎn)葉片可沿其徑向槽來(lái)回滑動(dòng),并始終與泵殼內(nèi)壁接觸。該旋轉(zhuǎn)葉片隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成多個(gè)可變?nèi)莘e。
b)滑閥真空泵:在偏心轉(zhuǎn)子的外部安裝一個(gè)滑閥,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)滾動(dòng)?;y上部的滑閥桿可以在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng),從而將泵室分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
c)固定葉片真空泵:泵殼內(nèi)裝有靠近泵內(nèi)表面的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑動(dòng)葉片。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),滑動(dòng)葉片可以上下滑動(dòng),將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
d)余擺線(xiàn)真空泵:余擺線(xiàn)轉(zhuǎn)子偏心安裝在泵腔內(nèi),沿泵腔內(nèi)壁旋轉(zhuǎn),將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
e)多室旋片真空泵:在泵殼內(nèi)并聯(lián)安裝一臺(tái)由同一臺(tái)電機(jī)驅(qū)動(dòng)多個(gè)工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵:是一種無(wú)油(或液)密封的變?nèi)莘e真空泵。
③液環(huán)真空泵:多葉片轉(zhuǎn)子偏心安裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),它將液體(通常是水或油)拋向泵殼,形成泵殼的同心液體環(huán)。液環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成幾個(gè)體積周期性變化的小體積,因此也稱(chēng)為旋轉(zhuǎn)變體積真空泵。
④羅茨真空泵:泵內(nèi)安裝兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的雙葉片或多葉片轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間保持一定間隙。屬于旋轉(zhuǎn)式可變真空泵。機(jī)械增壓泵就是這種類(lèi)型的真空泵。
2.動(dòng)量傳輸泵。
該泵依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流將動(dòng)量傳遞給氣體或氣體分子,使得氣體可以從泵的入口連續(xù)傳遞到出口??梢苑譃橐韵聨追N類(lèi)型。
(1)分子真空泵:是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將能量傳遞給氣體分子進(jìn)行壓縮排出的真空泵。它有以下幾種類(lèi)型:
①牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子碰撞獲得動(dòng)量,送至出口。所以是動(dòng)量轉(zhuǎn)移泵。
②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽盤(pán)或帶葉片的轉(zhuǎn)子,在定子盤(pán)(或定子板)之間轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子圓周線(xiàn)速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
③復(fù)合分子泵:是一種復(fù)合分子真空泵,由渦輪和牽引分子泵串聯(lián)而成。
(2)噴射真空泵:是利用文丘里效應(yīng)壓降產(chǎn)生的高速射流將氣體輸送到出口的動(dòng)量轉(zhuǎn)移泵,適用于粘性流和過(guò)渡流工作。這種泵可以詳細(xì)分為以下幾種類(lèi)型:
①液體噴射真空泵:以液體(通常是水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵:以不凝性氣體為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③蒸汽噴射真空泵:以蒸汽(如水、油或汞)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
(3)擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(如油或汞蒸氣)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,并被送到出口。射流中氣體的分子密度總是很低,所以這種泵適合在分子流動(dòng)狀態(tài)下工作。
①自?xún)魯U(kuò)散泵:一種油擴(kuò)散泵,泵液中的揮發(fā)性雜質(zhì)通過(guò)專(zhuān)用機(jī)械輸送到出口,不返回鍋爐。
②分餾擴(kuò)散泵:該泵有分餾裝置,使低蒸氣壓的工作液蒸氣進(jìn)入高真空的噴嘴,而高蒸氣壓的工作液蒸氣進(jìn)入低真空的噴嘴。它是一個(gè)多級(jí)油擴(kuò)散泵。
(4)擴(kuò)散噴射泵:是由具有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴和具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)而成的動(dòng)量傳遞泵。油增壓泵屬于這種類(lèi)型。
(5)離子輸送泵:是在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)作用下,將電離氣體輸送到出口的動(dòng)量輸送泵。