負壓真空泵的分類介紹，羅茨真空泵分類介紹
根據工作原理，真空泵基本上可以分為兩種，即輸氣泵和集氣泵。隨著生產和科研領域對真空應用技術的應用壓力范圍的要求越來越高，大多數由幾個真空泵組成的真空泵系統在一起抽真空后可以滿足生產和科研過程的要求。因此，選擇由不同類型的真空泵組成的真空泵機組進行抽吸更為常見。因此，這些真空泵根據其工作原理或結構特征分類如下:
一、輸氣泵。
輸氣泵是一種真空泵，它可以連續地吸入和排出氣體，從而達到抽氣的目的。基本上有兩種類型的泵:
1.可變容積真空泵。
變容真空泵是一種利用泵腔容積的周期性變化來完成抽吸和排氣過程的真空泵。氣體在排放前被壓縮。這種泵分為往復式和旋轉式:
(1)活塞式真空泵:泵腔內的活塞往復運動，吸入、壓縮和排出氣體。所以也叫活塞式真空泵。
⑵旋轉真空泵:泵腔內的活塞用于旋轉運動，吸入、壓縮和排出氣體。旋轉式真空泵有以下幾種類型:
①油封真空泵:是利用油密封運動部件之間的間隙，減少有害空間的旋轉式變容真空泵。這種泵通常裝有氣體鎮流裝置，因此也稱為氣體鎮流真空泵。根據其結構特點，可分為以下五種類型。
a)旋片真空泵:轉子以一定的偏心距安裝在泵殼內，并靠近泵殼內表面的固定面。兩個(或多個)旋轉葉片安裝在轉子槽中。當轉子旋轉時，旋轉葉片可沿其徑向槽來回滑動，并始終與泵殼內壁接觸。該旋轉葉片隨轉子旋轉，可將泵腔分成多個可變容積。
b)滑閥真空泵:在偏心轉子的外部安裝一個滑閥，轉子轉動帶動滑閥沿泵殼內壁滑動滾動。滑閥上部的滑閥桿可以在可擺動的滑閥導軌中滑動，從而將泵室分成兩個可變容積。
c)固定葉片真空泵:泵殼內裝有靠近泵內表面的偏心轉子，泵殼上裝有始終與轉子表面接觸的徑向滑動葉片。當轉子旋轉時，滑動葉片可以上下滑動，將泵腔分成兩個可變容積。
d)余擺線真空泵:余擺線轉子偏心安裝在泵腔內，沿泵腔內壁旋轉，將泵腔分成兩個可變容積。
e)多室旋片真空泵:在泵殼內并聯安裝一臺由同一臺電機驅動多個工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵:是一種無油(或液)密封的變容積真空泵。
③液環真空泵:多葉片轉子偏心安裝在泵殼內。當它旋轉時，它將液體(通常是水或油)拋向泵殼，形成泵殼的同心液體環。液環和轉子葉片形成幾個體積周期性變化的小體積，因此也稱為旋轉變體積真空泵。
④羅茨真空泵:泵內安裝兩個同步反向旋轉的雙葉片或多葉片轉子，轉子之間以及轉子與泵殼內壁之間保持一定間隙。屬于旋轉式可變真空泵。機械增壓泵就是這種類型的真空泵。
2.動量傳輸泵。
該泵依靠高速旋轉的葉片或高速射流將動量傳遞給氣體或氣體分子，使得氣體可以從泵的入口連續傳遞到出口。可以分為以下幾種類型。
(1)分子真空泵:是利用高速旋轉的轉子將能量傳遞給氣體分子進行壓縮排出的真空泵。它有以下幾種類型:
①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子碰撞獲得動量，送至出口。所以是動量轉移泵。
②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽盤或帶葉片的轉子，在定子盤(或定子板)之間轉動。轉子圓周線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。
③復合分子泵:是一種復合分子真空泵，由渦輪和牽引分子泵串聯而成。
(2)噴射真空泵:是利用文丘里效應壓降產生的高速射流將氣體輸送到出口的動量轉移泵，適用于粘性流和過渡流工作。這種泵可以詳細分為以下幾種類型:
①液體噴射真空泵:以液體(通常是水)為工作介質的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵:以不凝性氣體為工作介質的噴射真空泵。
③蒸汽噴射真空泵:以蒸汽(如水、油或汞)為工作介質的噴射真空泵。
(3)擴散泵:以低壓高速蒸汽流(如油或汞蒸氣)為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，并被送到出口。射流中氣體的分子密度總是很低，所以這種泵適合在分子流動狀態下工作。
①自凈擴散泵:一種油擴散泵，泵液中的揮發性雜質通過專用機械輸送到出口，不返回鍋爐。
②分餾擴散泵:該泵有分餾裝置，使低蒸氣壓的工作液蒸氣進入高真空的噴嘴，而高蒸氣壓的工作液蒸氣進入低真空的噴嘴。它是一個多級油擴散泵。
(4)擴散噴射泵:是由具有擴散泵特性的單級或多級噴嘴和具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯而成的動量傳遞泵。油增壓泵屬于這種類型。
(5)離子輸送泵:是在電磁場或電場作用下，將電離氣體輸送到出口的動量輸送泵。
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